主な製品技術特徴及び指標：

●特許技術を採用する--積木転位フライアイレンズ（109個）の回折除去と線の急直線増強技術、
実用的なリソグラフィ分解能を向上させる。
●i線（365 nm）紫外露光光源と先進的な光学系を用いた高均一照明、光
ソースの集光角が小さく、平行性が良い。
●二眼二視野顕微鏡とCCD画像アライメントシステムを搭載し、22型ワイド液晶表示を採用
器、リアルタイムアライメントプロセスを同時に観察することができ、記録露光結果を記憶することもできる。
●三点式加球エアフローティングレベリング機構を用いて自動サンプルをレベリングし、大きさのサンプルに対して高いレベリングを持つ
精度。
●露出パラメータの設定はコンピュータ制御、インテリジェント化プロセス操作を採用し、メニューインタフェースは友好的である。
●重要な部品は輸入国際ブランド製品を採用し、機械全体の信頼性が高い。
●真空接触露光、ハード接触露光、圧力接触露光、及び近接露光の4種類をサポートする
関数を参照してください。
●露光面積：150 mm×150 mm、アライメント精度：≤±0.8 μm。
●マスクサイズ：3インチ、4インチ、5インチ、7インチ。
●リソグラフィー分解能：0.8〜1μm（ゴム厚2μmのポジ）。
●露光方式：タイミング（カウントダウン方式）、0.1 s-9999 s任意設定、設定精度0.1 s。
●最大ゴム厚：500μm（SU 8ゴム、ユーザーは均質なゴム条件を提供する）。
●水銀ランプ出力：1000 W（直流、ドイツオスロ、長寿命タイプ）。
●照明ムラ：2.5%（Φ100 mm範囲）、5%（Φ150 mm範囲）。